カッティングプロッターを用いたカッティングシートと転写シールによる透明導電膜のパターニング
レーザーマーカーを導入して以来この方法は行っていないため、備忘録として記録します。
透明導電膜付きガラスを購入して薄膜太陽電池を作製する際、透明導電膜のパターニングが必要になることがあります。その際のパターニング方法です（元は Ossila 社の FTO Processing Guide を参考にしています）。
使用していたもの
- カッティングプロッター：ローランド ディー．ジー． デザインカッター ステカ SV-8
- 転写シート：中粘着タイプ
- カッティングシート：3M スコッチカル J シリーズ カッティング用シート
手順
- カッティングプロッターで、カッティングシートに所望のパターンを描く（カットする）。
- 不要部分をピンセットで剥がす。
- 転写シートに転写する。
- 基板にカッティングシートを転写シートごと貼る。
- カッティングシートと基板の密着性を上げるため、ホットプレートで 50 ℃程度に数分温めた後、ピンセットなどでシートを軽くこすって密着させる。
- 転写シートを剥がす。
- 透明導電膜をエッチングする。
- ITO：濃塩酸、王水、または専用のエッチング液
- FTO：亜鉛粉末と 2 M HCl 水溶液
エッチング時間は透明導電膜の厚さ・結晶性・溶液温度で変わります。
例）FTO（TEC 10）：約 2 分／ITO（結晶性、150 nm）：濃塩酸で 5〜10 分程度 - 純水でエッチング液を洗い流し、カッティングシートを剥がす。
- 洗浄する。
- アセトン、2-プロパノールで十分に超音波洗浄する。
- FTO の場合は、まず綿棒などで亜鉛粉末を取り除いてから、アセトン、2-プロパノールで超音波洗浄する。